FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶，依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系氟橡胶*早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于硅橡胶，有极佳的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性则较不良，一般使用温度范围为 -20~250 ℃。特殊配方可耐低温至 -40 ℃。
优点：
· 可抗热至 250 ℃
· 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
缺点：
· 不建议使用于酮类，低分子量的酯类及含硝的混合物。 · 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。
适用范围:
· 化工厂的密封件。
全氟橡胶 FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点：
· *佳耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Plasma特性
缺点：
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高
适用范围:
· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点；其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳，一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点：
· 适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
缺点：
· 不建议暴露于煞车油，酮类及胼的溶液中 · 太空机件上。 |
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